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Kashiyama SDL 系列干式真空泵
發(fā)布時間: 2018-11-22 15:42
樫山 KASHIYAMA SDL系列干式真空泵機組用于獲得真空排氣和維護所需的真空源。
適用于半導體、液晶面板等行業(yè)的大排氣量干泵。嚴苛制程上為SDE系列，輕制程上為SDL系列。
可用于大尺寸晶圓和FPD。
通過組合提供大容量。
大于150kl/min也可按需提供。
大容量atm左右，可實現(xiàn)高壓泵送。
適用于大型L/L箱。
KASHIYAMA真空泵SDL Series系列規(guī)格
型號 | SDL12E50 | SDL20E50 | SDL36E60 | SDL3600 | |||
最大排氣速度 [L/min] *1 | 25,000 | 50,000 | 60,000 | 60,000 | |||
極限真空度 [Pa] *1 | 0.8 | 0.5 | 0.8 | ||||
電源電壓 (50/60Hz) | 3Phase AC200～220V,?380～480V | ||||||
曲線圖
行業(yè)應用：
半導體制造、液晶顯示制造、真空干燥、真空填充、鋰電池干燥、分子泵前級泵、質(zhì)譜儀、加速器等。
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