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快速、高效、創新,基于多年行業經驗
Kashiyama MU-X 系列干式真空泵用于半導體器件和液晶顯示單元制造過程中的真空排氣、真空狀態的維護、反應氣體和生成氣體的排氣以及過程室和預處理室的清潔。
1.消耗功率0.35kW
2.占地面積極小
3.適用于各種工具。
4.適合L/L和輸送室等清潔泵送。
5.支持SEMI/CE/NRTL安全認證標準
產品參數
曲線圖
行業應用:
半導體制造、液晶顯示制造、真空干燥、真空填充、鋰電池干燥、分子泵前級泵、質譜儀、加速器等。
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